ADEPT-1010 專為淺層半導體注入和絕緣薄膜的自動分析而設計，是大 多數半導體開發和支持實驗室的常用工具。通過優化的二次離子收集光學係統 和超高真空設計，提供了薄膜結構檢測中的摻雜組分和常見雜質所需的靈敏度。

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